1.影像學檢查
(1)常規X線 胸片攝片技術須注意穿透條件適當，應用中度增感屏，聚焦要小。早期肺泡炎X線上不能顯示異常;隨病變進展，X線表現出雲霧狀、隱約可見微小點狀的瀰漫性陰影，猶如磨玻璃。進一步進展則見纖維化愈趨明顯，從纖細的網織狀到粗大網織狀，或呈網織結節狀。晚期更有大小不等的囊狀改變，即蜂窩肺。肺容積縮小，膈肌上抬，葉間裂移位。
(2)CT 對比分辨率優於X線，應用高分辨CT(HRCT)可進一步提高空間分辨率，對於IPF的診斷，特別是早期肺泡炎與纖維化鑑別及蜂窩肺的發現極有幫助。
(3)核素 IPF常有肺泡毛細血管膜通透性增高。核素技術吸入99mTc-DTPA氣溶膠測定肺上皮通透性(LEP)可見T1/2縮短，有助於早期發現和診斷間質性肺病，對於IPF並無特異性。
2.肺功能檢查
IPF 的典型肺功能改變包括限制型通氣損害、肺容量縮小、肺順應性降低和彌散量降低。嚴重者出現PaO2下降和PA-aO2增寬。肺功能檢查與影像學技術有助於早期診斷，特別是運動試驗在影像學異常出現前即有彌散量降低和低氧血癥。肺功能檢查可作動態觀察，對病情估價很有幫助，用於考核療效可能也是有用的。同樣，IPF的肺功能異常沒有特異性，無鑑別診斷價值。
3.支氣管肺泡灌洗
支氣管肺泡灌洗回收液細胞總數增高，而中性粒細胞比例增加是IPF比較典型的改變，對診斷有幫助。目前仍主要用於研究。
4.肺活檢
IPF早、中期的組織學改變有一定特點，而間質性肺病病因多包括許多有明確病因可尋者，因此肺活檢對於本病確診和活動性評價十分有意義。首選應用纖支鏡作TBLB，但標本小，診斷有時尚有困難。必要時宜胸腔鏡或開胸肺活檢。
